等離子清洗機- PCE-8
PCE-8是一款較大型的等離子清洗機，等離子腔體為 8.5 "dia x 12“"L的石英腔體，采用的射頻電源功率0 - 100W連續可調節。此款設備主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質（如親水和疏水性等）。對于基片的清洗以及薄膜處理此款設備是較為理想的實驗幫手。
技術參數
輸入電源 | · AC 220V , 50/60 Hz, · 最大射頻功率: 100 W · 真空泵功率: < 500W · 總功率: < 600W |
射頻功率 | · 射頻功率可在 0 - 100W之間調節 · 射頻: 13,56 MHz · 可以與本公司工作人員聯系采用300W或500W的射頻電源，來進行等離子刻蝕和等離子灰化等實驗 |
等離子腔體 | · 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體 · 鋁制折疊式法蘭來進行真空密封 · 法蘭上有一個直徑為60mm的觀察窗口 |
控制面板 | · 通過6" 彩色觸摸屏，可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時間和氣體流量等. · 儀器內部安裝有一0 - 500ml/minute質量流量計，可精確地控制進氣流量 |
真空泵（選配） | · 可選一臺240L/min直聯式雙旋真空泵、KF25波紋管以及KF25的手動擋板閥。 · 極限真空度為50mTorr |
通入氣體 | 等離子腔體中可以通入多種氣體來產生等離子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合氣體等等（根據材料性質所定） |
等離子清洗及刻蝕的方法 | |
可選 | · 可選購 2"?-?6"?石英舟來盛放基片 · 多種混氣系統可選 · 質子供氣系統浮子供氣系統
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外型尺寸 | 620 L ×450 W ×600 H, mm |
質保期 | 一年質保期，終生維護 |
上海聚慕醫療器械有限公司
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